国内某 OLED 镀膜机厂家配置伯东美国 HVA 真空阀门 11000 系列,尺寸以 4”, 6”, 8”阀门口径为主的标准不锈钢气动高真空闸阀,
HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:
下图是某 OLED 镀膜机厂家配置上海伯东美国 HVA 高真空阀门
OLED 镀膜机主要面向半导体照明客户, 需要镀膜机性能稳定, 器件效率高, 性价比高,
对于生产 OLED 镀膜机的客户, 为了节省抽空时间和防止基片的污染, 会选择在 LOADLOCK 与主腔间进行快速传样, 由于两腔室工作的真空度要求不同, 会在腔室之间增加高真空阀门来隔离系统.
伯东美国 HVA 真空阀门已广泛应用于 OLED 镀膜机
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上海伯东 : 罗先生