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Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可达 1250 l/s 的涡轮分子泵. 对各种气体均有高抽吸能力, 高工艺适用性, 防止进入颗粒. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54. 通过控制器, 监控运算数据尽可能的保证分子泵的性. 涡轮分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 涡轮分子泵 HiPace 1200 通讯接口 RS-485, 远程遥控（Profibus/DeviceNet 备询）, 多种配件供客户选择.

涡轮分子泵 HiPace 1200 特性
对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
监控运算数据尽可能的保证分子泵的性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 1200 技术规格

型号	HiPace 1200 TC 1200 DN 200 ISO-K	HiPace 1200 TC 1200 DN 200 ISO-F	HiPace 1200 TC 1200 DN 200 CF-F
Ar 压缩比	>1X108	>1X108	>1X108
H2 压缩比	6X103	6X103	6X103
He 压缩比	2X104	2X104	2X104
N2 压缩比	>1X108	>1X108	>1X108
大预抽真空, N2 hPa	2	2	2
Ar全转速时气体流量hPa l/s	11	11	6
H2 全转速时气体流量hPa l/s	>30	>30	>30
He全转速时气体流量hPa l/s	>30	>30	16
N2 全转速时气体流量hPa l/s	20	20	16
操作电压 V AC	100-120 / 200-240	100-120 / 200-240	100-120 / 200-240
大电流 A	10	10	10
允许大磁场 mT	6	6	6
Ar抽速l/s	1200	1200	1200
H2 抽速l/s	1100	1100	1100
He 抽速 l/s	1300	1300	1300
N2 抽速l/s	1250	1250	1250
转速 ± 2 % rpm	37800	37800	37800
启动时间 min	2.5	2.5	2.5
限真空 hPa	1X10-7	1X10-7	5X10-10
重量 kg	29.5	30.5	40.9

分子泵应用 HiPace 1200:
镀膜: LED, 光伏, 硬盘镀膜, 硬质涂层, 卷绕镀膜, 光学镀膜, CD / DVD / PVD
工业: 医学技术, 电子束焊接, 隔离真空, 灯管制造
研发: 聚变研究, 等离子研究, 模拟空间站, 基本粒子物理学, 生物技术
半导体: PVD, CVD, Beamline, MBE

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上海伯东：罗女士

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